Vakuumpumpen
Für einige Herstellungsprozesse, wie zum Beispiel in der Produktion von Computerchips und in der Forschung ist die Erzeugung eines Vakuums unumgänglich, um Reinheitsgrade sicherzustellen oder Störmomente auszuschliessen.
Hierzu werden abgeschlossene Hohlräume einem Druck geringer als der Umgebungsdruck ausgesetzt. Der Luftdruck wird in der Maßeinheit hPa (HektoPascal, benannt nach dem französischen Physiker Blaise Pascal) oder mbar (Millibar) angegeben. Frühere gebräuchliche Einheiten waren neben Atmosphären (atm) und Torr (mm Quecksilbersäule) einige andere mehr. Der Normaldruck der Umgebung liegt bei ca. 1013 hPa oder 1013 mbar oder 1 atm oder 760 Torr.
Aus der Verdichtertechnologie wurden Geräte zur Erzeugung eines Unterdrucks entwickelt. Hierbei kennt man eine Vielzahl physikalischer Prinzipien, die man zu diesem Zweck anwenden kann. Als einfachste Variante mechanischer Verdichter kennt man Verdrängerpumpen, wie zum Beispiel Kolben- und Drehschieberpumpen. Hierbei wird Luft angesaugt, in einem geschlossenen, sich zyklisch verändernden Arbeitsraum verdichtet und anschliessend ausgeschoben. Für die Erzeugung höherer Vakua eignen sich zum Beispiel Kryo- Sorptions- und Turbomolekularpumpen, die eine Verdrängerpumpe als Vorstufe benötigen.
Mit diesen Technologien lassen sich verschiedene Grade eines Vakuums erzeugen, technisch unterscheidet man: Grobvakuum (1013 – 1 hPa), Feinvakuum (1 bis 10^-3 hPa), Hochvakuum (10^-3 bis 10^-7 hPa), Ultrahochvakuum (ab 10^-7 hPa), für die Mehrzahl der Anwendungen sind Grob- und Feinvakuum ausreichend, die weiteren Stufen sind meist in der Forschung relevant, hierfür sind meistens mehrstufige Pumpsysteme im Einsatz.
Darüber hinaus gibt es eine Reihe von speziellen Verdichtern und Verdichtersystemen, die für ganz spezifische Anwendungen konzipiert werden.