Für einige Herstellungsprozesse, wie zum Beispiel in der Produktion von Computerchips und in der Forschung ist die Erzeugung eines Vakuums unumgänglich, um Reinheitsgrade sicherzustellen oder Störmomente auszuschliessen.
Hierzu werden abgeschlossene Hohlräume einem Druck geringer als der …